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MEMS器件<i style='color:red'>老煉試驗</i>

MEMS器件老煉試驗

老煉試驗的目的是為了篩選或剔除那些勉強合格的器件。這些器件或是本身具有固有的缺陷或者其缺陷產生於製造工藝的控製不當,這些缺陷會造成與時間和應力有關的失效。如不進行老煉試驗,這些有缺陷的器件在使用條件下會出現初期致命失效或早期壽命失效。

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